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退火爐是連續退火機組的重要組成部分發布日期:2021-8-18 類別:公司新聞 瀏覽量: 3333 次 連續退火是相對罩式退火而言的,連續退火為帶鋼連續通過退火爐,退火爐無封口,帶鋼不經過停留而直接進行卷取的生產方式。 退火爐是在半導體器件制造中使用的一種工藝,其包括加熱多個半導體晶片以影響其電性能。熱處理是針對不同的效果而設計的。可以加熱晶片以激活摻雜劑,將薄膜轉換成薄膜或將薄膜轉換成晶片襯底界面,使致密沉積的薄膜,改變生長的薄膜的狀態,修復注入的損傷,移動摻雜劑或將摻雜劑從一個薄膜轉移到另一個薄膜或從薄膜進入晶圓襯底。 連續退火機組將冷軋帶鋼的清洗、退火、平整、精整等工藝集于一體,與傳統的罩式爐退火工序相比,具有生產周期短、布置緊湊、便于生產管理、勞動生產率高以及產品質量優異等優點。其中,連續退火爐是連續退火機組的重要組成部分。根據工藝要求,連續退火爐可分為預熱段、加熱段、均熱段、緩冷段、快冷段、時效段和終冷段等爐段。帶鋼依靠爐輥驅動在爐內各個區域運行時,常會發生飄曲變形,嚴重影響了生產的穩定性。 連退爐內帶鋼飄曲變形實質上是薄板的屈曲和后屈曲變形,已有文獻分別通過實驗、解析法和有限元法等方法對帶鋼娜曲變形進行了研究。但目前國內外研究帶鋼飄曲變形時,很少考慮爐輥的熱變形,大多采用固定輥形進行研究。實際生產中,帶鋼在連退爐內運行時,由于爐輥局部與帶鋼接觸,使得爐輥溫度沿輥身方向分布不均勻,終會發生形狀變化。相關研究表明:爐輥形狀對帶鋼飄曲變形影響很大,因此研究爐輥熱變形對帶鋼飄曲變形的影響是十分必要的。由于連退爐結構的封閉性和復雜性。使得實驗法和解析法存在一定局限性,因此,本文作者以某廠連續退火爐為研究對象,通過有限元計算方法研究了爐輥熱變形對帶鋼飄曲變形的影響,旨在為選擇合適的爐輥和改善連退爐內帶鋼飄曲變形提供理論依據。 |
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